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1. 研究目的与意义

随着光伏产业和半导体产业的快速发展，全球对太阳能级硅的需求高速增长，从２００５年的近３万ｔ增加到２００９年的９万ｔ，年增长率为４０％～５０％。太阳能级硅棒被切割成硅晶片时将会产生大量的切割废料。对切割废料中碳化硅的回收利用的研究从近几年日益加深。同时，在碳化硅回收加工过程中产生的废水也成为了大家共同研究的焦点，碳化硅回收利用生产废水，其特点是水量较少，有机物浓度较高，COD值较大，可生化性非常差。对碳化硅回收利用生产废水的研究有利于水资源的节约，响应了清洁的环保理念。

2. 国内外研究现状分析

郑静, 陈敏, 钱飞在单、多晶硅生产废水处理工程实例中提到碳化硅废水主要来源于3个工段, 分别为切片/ 开方车间、清洗车间和料理车间产生的废水, 切片/ 开方车间产生的废水主要污染物为硅粉、碳化硅和聚乙二醇, 清洗车间产生的废水主要污染物为硅粉、碳化硅、聚乙二醇( peg400) 、清洗液和乳酸, 料理车间产生的废水主要污染物为hf、hno3及naoh。含氟废水先通过投加cacl2溶液生成caf2沉淀，再投加混凝剂feso4和pac。切片/ 开方车间和清洗车间产生的废水，调ph，再投加混凝剂pac, pam,去废水中的部分有机物,促进硅粉和碳化硅的沉淀。由此处理完的碳化硅回收利用生产废水中主要是聚乙二醇和硅酸钠物质。

张睿， 梅凯， 孙国亮， 张敏， 羌金凤考虑到废水有机溶剂含量高， 废水可生化性差用微电解 uasb 生物接触氧化工艺处理聚乙二醇生产废水。

西安环科公司在处理回收废水时利用离子交换树脂酸阻滞特性将废液中的废酸吸附在树脂，金属盐顺利通过，然后利用纯水解析树脂回收酸。利用离子交换树脂吸附强酸并从溶液中去除金属盐，达到分离自由酸和金属离子的目的，并在后期加入了废水净化设备可以到达零排放；可以大大的减少废水排放费用。

3. 研究的基本内容与计划

1000m3/d碳化硅回收利用生产废水的处理工程设计

研究内容：设计可行的碳化硅回收利用生产废水处理工艺，除去废水中的各种有害物质，防止环境污染，使水能够重新利用。要求在确保治理效果稳定排放的同时，尽可能做到投资少、运转费用低、操作管理方便的技术要求。

研究计划：

4. 研究创新点

投资少、运转费用低、操作管理方便

在现在国内乃至世界上，对碳化硅生产废水的研究的比较多，对碳化硅回收利用生产废水的还很少查到有关研究。这对水治理是个很好的研究项目。