1. 研究目的与意义
国内外背景概括;
大行程超精密工作台主要的类型有直线电机式驱动、摩擦式驱动,也有采用两级进给的方式,即采用粗动与精动两套系统,以同时兼顾大行程、高响应速度和高定位精度。
高精度和高分辨率的超精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。它直接影响精密、超精密切削加工水平、精密测量水平及超大规模集成电路生产水平。同时,它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。
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2. 研究内容与预期目标
研究的内容:
1.阐述课题背景,对国内外相关研究现状进行总结和分析;
2.根据主要技术指标,在分析国内外研究现状基础上制定总体设计方案,并阐明方案制定依据;
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3. 研究方法与步骤
研究方法:
1.在图书馆借阅相关书籍,认真学习移动平台台的相关知识,为进一步设计打下基础。
2.通过老师的指导,进一步了解课题的要求。
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4. 参考文献
[1] 徐灏.机械设计手册Ⅰ[s].北京:机械工业出版社,1991.9.
[2] 蒋秀珍.机械学基础综合训练图册[m].科学出版社,2002.1.
[3] 薛实福,李庆祥.精密仪器设计[m].北京:清华大学出版社,1991.5.
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5. 工作计划
第一周到第二周 查阅资料,翻译外文资料;
第三周到第四周 收集并汇总资料, 撰写开题报告;
第五周到第七周 进行五维移动平台的整体设计;
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