格栅式MEMS气体微流量传感器的封装测试开题报告

1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

毕业设计(论文)开题报告学生姓名： 董祥涛学 号： 2001170521所在学院： 化学与分子工程学院专业：应用化学 设计(论文)题目：格栅式mems气体微流量传感器的封装测试 指导教师： 韩毓旺 2021 年3月8日 毕 业 设 计（论 文）开 题 报 告 文 献 综 述气体流量的测量已应用到工业控制，医疗，汽车，化工和制药等领域[1]。

传统的流量传感器体积过于庞大不利于气体流量的测量，传统的流量传感器有涡轮流量传感器，旋进漩涡流量传感器，差压式流量传感器，涡街流量传感器等[2]。

1974年，vanputten 和 middelhoek 首次利用标准硅技术制作出硅流量传感器。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

毕业设计(论文)开题报告学生姓名： 董祥涛学 号： 2001170521所在学院： 化学与分子工程学院专业：应用化学 设计(论文)题目：格栅式mems气体微流量传感器的封装测试 指导教师： 韩毓旺 2021 年3月8日 毕 业 设 计（论 文）开 题 报 告 文 献 综 述气体流量的测量已应用到工业控制，医疗，汽车，化工和制药等领域[1]。

传统的流量传感器体积过于庞大不利于气体流量的测量，传统的流量传感器有涡轮流量传感器，旋进漩涡流量传感器，差压式流量传感器，涡街流量传感器等[2]。

1974年，vanputten 和 middelhoek 首次利用标准硅技术制作出硅流量传感器。